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        微粒過濾和控制AMC在晶圓設備的生產過程中是必須的,這也是追求高收益、低退貨率的半導體產業首當其沖需要解決的問題。潔凈室最突出的問題是產品、工具、加工過程中氣味控制的污染。傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。如今FLMFIL FFU 使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁瑣的安裝問題,性價比很高,是目前市場上最安靜、價格優良的一種機組,為潔凈室輸送高質量的循環空氣。

此外,空氣中的分子污染物會隨著溫度和濕度的相對作用而增加,從而加速產品的表面氧化和腐蝕。FLMFIL的初效及中效過濾器可以有效地除去液體和空氣中的固體顆粒,保護設備的正常工作和空氣的潔凈。 


 

污染物


來源

引發問題

解決方案

 

粉塵,酸性、堿性氣體


空氣

集成電路斷路、短路

化學過濾器+高效過濾器/FFU

 

NH3


空氣

光學鏡片霧化

化學過濾器+FFU

 

NH3NMP


外氣

“T-top“現象

化學過濾器

 

丙酮、異丙醇等有機溶劑廢氣

 

清洗、刻蝕工序

環境污染

高效空氣過濾器

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